解決方案
半導體/電子特氣領域純化設備供應商
集成電路
01
硅片制造
形成CVD膜
去除金屬雜質(zhì)
金屬復合層刻蝕
對產(chǎn)品的質(zhì)量和性能,多個制造環(huán)節(jié)影響重大
太陽能光伏
02
工藝中擴散、光刻、沉積等工序設備所需
太陽能晶體硅電池片
薄膜太陽能電池片
生產(chǎn)過程所需
LED/激光
03
LED外延片、芯片
外延片生長和芯片的加工
外延片(載氣、反應氣)
芯片(蝕刻)環(huán)節(jié)
LCD/光纖
04
應用于成膜和干刻工藝
成膜工藝(做濺射氣體、受激發(fā)產(chǎn)能低溫等離子體)
刻蝕(硅島、溝道和接觸孔)
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