工藝介紹：

（1）通過吸氣工序高溫深度脫除O2、CO、CO2、H2O、 CH4、N2等雜質(zhì)。

（2）吸氣反應(yīng)器吸附飽和后須整體更換。

應(yīng)用領(lǐng)域：

集成電路制造行業(yè)

半導(dǎo)體、LED、激光、太陽能光伏行業(yè)

氣體行業(yè)