工藝介紹：

（1）先通過(guò)物理和化學(xué)吸附脫除O2、CO、CO2、H2O等雜質(zhì)。

（2）通過(guò)吸氣工序高溫下進(jìn)一步脫除O2、CO、CO2、H2O同時(shí)深度脫除CH4、N2。

（3）通過(guò)脫氫工序常溫下深度脫除H2雜質(zhì)。

（4）吸附反應(yīng)器吸附飽和后可通氫加熱再生，反復(fù)使用。

（5）吸氣反應(yīng)器吸附飽和后須整體更換。

應(yīng)用領(lǐng)域：

集成電路制造行業(yè)

半導(dǎo)體、LED、激光、太陽(yáng)能光伏行業(yè)

氣體行業(yè)