工藝介紹：

（1）高溫催化氧化工序，氣體中CH4、還原性雜質(zhì)與O2反應(yīng)轉(zhuǎn)化為H2O和CO2。

（2）使用特殊純化材料，通過(guò)物理和化學(xué)吸附方式脫除O2、CO、H2O、H2、揮發(fā)性酸VA、揮發(fā)性堿VB、耐熔化合物RC、可冷凝有機(jī)物Corg、不凝有機(jī)物Ncorg等雜質(zhì)。

（3）吸附反應(yīng)器吸附飽和后可通氫加熱再生，反復(fù)使用。

（4）多柱交替吸附、再生，可連續(xù)供氣。

應(yīng)用領(lǐng)域：

純化用于半導(dǎo)體應(yīng)用的二氧化碳