產(chǎn)品中心
半導體/電子特氣領域純化設備供應商
CRYO-H-S系列氫氣純化器
系列 Series |
雜質(zhì) Impurity |
入口 Inlet(ppm) |
出口 Outlet(ppb) |
CRYO-H-S |
O2 |
<1 |
<10 |
N2 |
<5 |
<10 |
|
CO |
<1 |
<10 |
|
CO2 |
<1 |
<10 |
|
THC |
<1 |
<10 |
|
H2O |
<3 |
<10 |
|
PARTICLES |
-- |
≤10pcs/m3, 0.003μm |
|
Pressure Drop |
<1bar |
||
Flow |
10~300Nm3/h |
工藝介紹:
(1)通過物理吸附方式脫除O2、CO、CO2、H2O、N2、THC等雜質(zhì)。
(2)吸附反應器吸附飽和后可通氫加熱再生,反復使用。
(3)反應溫度為液氮溫度。
應用領域:
半導體、LED、激光、太陽能光伏行業(yè)
氣體行業(yè)
產(chǎn)品詳情