工藝介紹：

（1）通過物理和化學(xué)吸附方式脫除O2、CO、CO2、H2O、H2等雜質(zhì)。

（2）吸附反應(yīng)器吸附飽和后可通氫加熱再生，反復(fù)使用。

（3）多柱交替吸附、再生，可連續(xù)供氣。

應(yīng)用領(lǐng)域：

集成電路制造行業(yè)

半導(dǎo)體、LED、激光、太陽能光伏行業(yè)

氣體行業(yè)